分析装置を使って、プロセス全体、個別の素子、積層された配線層等のターゲットに応じて、主にICの構造、組成を分析します。構造・プロセス特許は、組立、構造そのものや、材料、プロセス、方法等に渡ります。分析を進める中で、我々が重要にしているのは、分析するポイントや、分析ポイントへのアプローチになります。取得したデータの確度や信頼性に係わるからです。また、結果の精度を左右する分析サンプル作製は、非常に重要で、120％分析装置を使いきるためにも、構造分析の肝だと思っています。